簡易檢索 / 檢索結果

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    利用濺鍍法於玻璃基板沉積微晶矽鍺薄膜之性質研究
    • 應用科技研究所 /99/ 碩士
    • 研究生: 張家豪 指導教授: 朱瑾
    • 本研究是採用射頻磁控濺鍍法於康寧玻璃型號1737 基板沉積微晶矽鍺薄膜,使用的靶材為鍺錠貼附於矽靶上並控制鍺元素原子比20 % 來共鍍沉積,在沉積過程中加熱基板至150oC,並控制不同的氫氣與氬氣的…
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    • 全文公開日期 2016/07/28 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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